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CVD(화학기상증착) 원리 및 종류 완벽 가이드: PECVD부터 ALD 차이까지

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CVD(화학기상증착) 완벽 가이드 2026: 기체로 쌓는 나노 성벽 | Dalpack Ultimate Process Guide CVD (Chemical Vapor Deposition) 화학 기상 증착: 기체로 쌓는 나노 성벽 기체 상태의 전구체를 반응시켜 원자 단위의 견고한 박막을 형성합니다. PECVD부터 MOCVD까지, 반도체 소자의 보호막과 절연막을 책임지는 핵심 기술. ▲ [공정 전경] CVD는 가스의 유량, 압력, 온도를 미세하게 조절하여 막의 두께와 물성을 제어하며, PVD 방식보다 단차 피복성(Step Coverage)이 월등히 뛰어납니다. 1. CVD(화학 기상 증착)란? (Deep Dive) CVD (Chemical Vapor Deposition) 는 전구체(Precursor) 가스를 챔버에 주입하고 열이나 플라즈마 에너지로 분해하여, 웨이퍼 표면에서 화학 반응을 일으켜 고체 박막을 쌓는 기술입니다. 물리적으로 재료를 입히는 PVD와 달리 화학적 결합을 이용하므로 막질이 치밀하고 부착력이 우수합니다. 반도체의 절연막(SiO2, SiNx), 전도성 금속막(W, TiN), 그리고 트랜지스터의 게이트 산화막 등 소자의 기능을 결정짓는 다양한 층이 CVD로 만들어집니다. 2026년형 CVD 트렌드는 '저온 공정' 과 '초미세 갭필(Gap-fill)' 입니다. 소자가 미세해지면서 열에 의한 손상을 막기 위해 더 낮은 온도에서 고품질 막을...

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포토레지스트(Photoresist) 완벽 가이드: 빛으로 그리는 회로

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포토레지스트(Photoresist) 완벽 가이드 2026: 빛으로 그리는 회로 | Dalpack Ultimate Material Guide Photoresist (PR) 포토레지스트: 미세 회로의 예술가 빛에 반응하여 용해도가 변하는 감광성 고분자 물질. g-line부터 EUV까지, 나노미터 단위의 반도체 패턴을 형성하는 결정적 화학 소재. ▲ [소재 전경] 포토레지스트는 후속 식각(Etching) 공정에서 하부 막질을 보호하는 마스크 역할을 하며, 공정이 끝나면 깨끗이 제거(Strip)되어야 합니다. 1. 포토레지스트(Photoresist)란? (Deep Dive) 포토레지스트(PR) 는 빛(Photo)에 반응하는 감광제(Sensitizer), 기본 골격이 되는 수지(Resin), 그리고 이를 녹이는 용매(Solvent)로 구성된 액체 상태의 화학 물질입니다. 웨이퍼 위에 얇게 도포된 후 노광 장비에서 특정 파장의 빛을 쬐면, 빛을 받은 부분의 화학 구조가 변하여 현상액(Developer)에 잘 녹거나(Positive), 반대로 단단하게 굳어 녹지 않게(Negative) 됩니다. 이 성질을 이용해 마스크에 그려진 회로 패턴을 웨이퍼 위로 전사하는 것이 포토 공정의 핵심입니다. 2026년형 최신 PR 시장은 극자외선(EUV) 공정의 도입과 함께 급격히 변화하고 있습니다. 기존의 유기물 기반 화학 증폭형 레지스트(CAR)가 3nm 이하 공정에서 패턴 무너짐(Collapse)...

웨이퍼(Wafer) 완벽 가이드: 혁신의 캔버스

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웨이퍼(Wafer) 완벽 가이드 2026: 혁신의 캔버스 | Dalpack Ultimate Material Guide Semiconductor Wafers 웨이퍼 (Si, SiC, GaN): 혁신을 그리는 캔버스 전통적인 실리콘(Si)부터 차세대 전력 반도체용 SiC, GaN까지. 밴드갭(Bandgap) 에너지와 전자 이동도의 차이가 디바이스의 성능을 결정합니다. ▲ [소재 전경] SiC와 GaN은 실리콘보다 결정 성장(Crystal Growth)이 훨씬 어렵고 가격이 비싸지만, 고온·고전압 환경에서 압도적인 효율을 발휘합니다. 1. 웨이퍼(Wafer) 소재별 특성 (Deep Dive) 웨이퍼 는 반도체 집적회로(IC)를 만들기 위한 토대가 되는 얇은 원판입니다. 가장 널리 쓰이는 실리콘(Si) 은 가격이 저렴하고 대구경화(12인치)가 쉬워 메모리나 로직 반도체의 표준이 되었지만, 전압이 높아지거나 온도가 올라가면 반도체 성질을 잃어버리는 물리적 한계가 있습니다. 이에 전기차(EV), 5G 통신, 급속 충전기 등 고전력·고주파 분야를 중심으로 'WBG (Wide Bandgap, 넓은 띠틈)' 소재인 SiC와 GaN이 급부상하고 있습니다. 탄화규소(SiC) 는 실리콘 대비 밴드갭이 3배 넓고 절연 파괴 전계가 10배 높아, 600V 이상의 고전압을 견디는 전기차 인버터에 최적입니다. 질화갈륨(GaN) 은 전자 이동도(Mobility)가 매우 빨라 스위칭 속도...

형상 측정기(Contour Measuring Machine) 완벽 가이드: 윤곽의 재발견

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형상 측정기(Contour Measuring Machine) 완벽 가이드 2026: 윤곽의 재발견 | Dalpack Ultimate Metrology Guide Contour Measuring Machine 형상 측정기: 윤곽의 재발견 캘리퍼스로 잴 수 없는 곡면, 각도, 나사산을 정밀하게 추적합니다. CAD 데이터 비교와 하이브리드 센싱으로 완성하는 품질 관리의 새로운 표준. ▲ [장비 전경] X축(이송)과 Z축(검출)의 정밀한 연동을 통해, 물체의 단면 형상을 컴퓨터 화면에 실제와 똑같이 그려냅니다. 1. 형상 측정기(Contour Measuring Machine)란? (Deep Dive) 형상 측정기(Contour Tracer) 는 측정 대상물의 표면을 스타일러스(촉침)가 직접 접촉하여 따라가며(Tracing), 그 궤적을 X, Z 좌표 데이터로 수집해 단면의 형상, 각도, 반경(Radius), 거리 등을 측정하는 정밀 계측 장비입니다. 일반적인 3차원 측정기(CMM)가 '점(Point)'이나 '면(Surface)'을 측정한다면, 형상 측정기는 '선(Line)'과 '윤곽(Profile)'을 연속적으로 분석하는 데 특화되어 있어 베어링의 알(R)값, 볼스크류의 나사산 형상, 비구면 렌즈의 곡률 등을 검증하는 데 필수적입니다. 2026년형 장비의 트렌드는 '하이브리드(Hybrid) 시스템' 입니다. 과거에는 거칠기...

로봇팔(Industrial Robot Arm) 완벽 가이드: 자동화의 손길

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산업용 로봇팔(Industrial Robot Arm) 완벽 가이드 2026: 자동화의 손길 | Dalpack Ultimate Automation Guide Industrial Robot Arm 산업용 로봇팔: 제조업의 근육과 신경 6축 다관절의 유연함부터 델타 로봇의 초고속 픽앤플레이스까지. 인공지능(AI) 비전과 힘 제어(Force Control)로 진화하는 자동화 솔루션의 모든 것. ▲ [장비 전경] 산업용 로봇은 인간의 팔과 유사한 관절 구조를 통해 3차원 공간 내에서 자유롭게 움직이며 용접, 조립, 도장, 이송 등 다양한 작업을 수행합니다. 1. 산업용 로봇팔(Industrial Robot Arm)이란? (Deep Dive) 산업용 로봇팔 은 공장의 자동화 라인에서 반복적이고 위험하거나 정밀함이 요구되는 작업을 사람 대신 수행하는 다관절 기계 장치입니다. 작업의 성격과 필요한 자유도(DOF: Degrees of Freedom)에 따라 크게 4가지 유형으로 나뉩니다. 가장 범용적인 '6축 다관절 로봇(Articulated Robot)' 은 인간의 팔처럼 유연하게 움직여 용접이나 조립에 적합하고, '스카라(SCARA) 로봇' 은 수평 운동이 빨라 전자 부품 조립에 특화되어 있습니다. '델타(Delta) 로봇' 은 거미 다리 같은 구조로 가벼운 물체를 초고속으로 집어 옮기며, '직교(Cartesian) 로봇' 은 직선 운동을 기반으로 무...

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