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PVD 장비(스퍼터링, 이빔증착) 완벽 가이드 2026: 나노 금속막의 창조 | Dalpack 2026 Semiconductor Equipment Core Physical Vapor Deposition PVD 장비 (스퍼터, 이빔): 나노 금속막의 창조 우주와 같은 초고진공 상태에서 금속 입자를 플라즈마로 때리거나 열로 증발시켜, 웨이퍼 위에 나노미터 단위의 가장 얇고 완벽한 옷을 입히는 증착 기술의 정수입니다. ▲ [구조 원리] 스퍼터링 챔버 내에서 강력한 전압으로 생성된 아르곤(Ar+) 이온이 금속 타겟에 충돌하면, 튕겨져 나온 원자들이 비가 내리듯 기판 위에 얇게 쌓입니다. 1. PVD(물리적 기상 증착)란? (Deep Dive) PVD(Physical Vapor Deposition) 는 화학적 가스 반응을 이용하는 CVD 방식과 달리, 진공 챔버 내부에서 순수한 고체 상태의 금속 덩어리(Target)에 물리적인 힘(플라즈마 타격, 전자빔 가열)을 가해 기체 상태로 증발시킨 뒤 기판 표면에 얇은 박막으로 코팅하는 진공 증착 기술입니다. 주로 반도체의 전기가 통하는 금속 배선(Metallization)을 형성하거나 디스플레이의 투명 전극을 만드는 데 사용됩니다. 2026년형 PVD 설비의 핵심 트렌드는 '다층막 인라인 클러스터링' 과 'AI 임피던스 매칭' 입니다. 진공을 한 번도 깨지 않고 챔버를 연속으로 이동하며 티타늄, 알루미늄, 구리 등 복합 메탈을 한 번에 올리는 완전 자동화 시스템이 표준이 되었으며, 플라즈마의 불안정한 변화를 AI가 1밀리초 단위로 잡아내어 ...

식각기(Etcher) 완벽 가이드 2026: 나노 반도체를 조각하는 절대 기술 | Dalpack 2026 Semiconductor Fab Core Semiconductor Etcher 식각기 (Dry & Wet): 나노 반도체를 조각하는 절대 기술 포토 공정으로 밑그림이 그려진 웨이퍼 위에 화학 용액과 플라즈마를 투사하여, 불필요한 부분을 깎아내고 완벽한 3D 입체 나노 회로를 완성하는 핵심 설비입니다. ▲ [구조 원리] 건식(Dry) 식각 챔버의 내부는 진공 상태로 유지되며, 강력한 전기장으로 형성된 플라즈마 이온이 웨이퍼 표면을 물리화학적으로 맹렬히 타격합니다. 1. 식각기(Etching Machine)란? (Deep Dive) 식각기(Etcher) 는 반도체 8대 공정 중 포토(Photo) 공정에서 웨이퍼 위에 감광액(PR)으로 그려진 회로 패턴을 바탕으로, 보호받지 못한 나머지 불필요한 산화막이나 금속 물질을 화학 반응이나 물리적 타격으로 정교하게 벗겨내는(깎아내는) 핵심 가공 장비입니다. 마치 판화를 조각하듯 평면의 웨이퍼에 입체적인 3D 구조를 부여하는 역할을 수행합니다. 2026년형 식각 기술의 절대적 화두는 'High Aspect Ratio(고단비)' 와 '원자층 식각(ALE)' 입니다. 300단 이상 치솟은 3D 낸드플래시의 좁고 깊은 구멍을 바닥까지 뚫어내기 위해 극저온 플라즈마 기술이 전격 적용되었으며, 2나노 이하 게이트를 위해 원자 단 한 층(Atom Layer)의 두께만 미세하게 벗겨내는 극강의 정밀 제어 시대가 도래했습니다. ...

협동로봇 티칭(Cobot Teaching) 완벽 가이드 2026: 직관적 로봇 제어의 혁명 | Dalpack 2026 Collaborative Automation Core Cobot Teaching 협동로봇 티칭: 직관적 로봇 제어의 혁명 전문가의 어려운 코딩 대신 현장 작업자가 로봇을 손으로 직접 쥐고 움직여 궤적을 가르치는, 다품종 소량 생산 시대의 가장 빠르고 유연한 로봇 셋업 기술입니다. ▲ [구조 원리] 로봇의 관절 버튼을 누른 채 팔을 직접 잡아끌면, 내부의 초정밀 센서가 힘을 감지해 저항 없이 부드럽게 움직이며 현재의 3D 좌표를 저장합니다. 1. 협동로봇 티칭(Cobot Teaching)이란? (Deep Dive) 협동로봇 티칭(Cobot Teaching) 은 사람과 같은 공간에서 안전하게 작업하는 협동로봇(Cobot)에게 수행해야 할 동작의 궤적과 속도, 조건을 가르치고 입력하는 프로그래밍 과정을 말합니다. 과거의 무겁고 위험한 산업용 로봇이 복잡한 프로그래밍 언어를 요구했던 것과 달리, 협동로봇은 인간의 팔을 움직이듯 직관적인 제어 방식을 채택하여 진입 장벽을 완전히 허물었습니다. 2026년형 티칭 기술의 화두는 'AI 비전 결합 자동 궤적 생성' 입니다. 사람이 일일이 점(Waypoint)을 찍어주던 다이렉트 티칭을 넘어, 카메라가 물체의 형태와 장애물을 인식하면 인공지능이 충돌을 회피하는 가장 완벽한 3D 이동 궤적을 1초 만에 스스로 그려냅니다. 스마트폰 앱을 만지듯 누구나 로봇을 다룰 수 있는 진정한 의미의 완전한 직관성을 완성했습니다. ...

산업용 CT 검사기(Industrial CT) 완벽 가이드 2026: 3D 투시의 혁명 | Dalpack 2026 NDT Inspection Core Industrial CT Scanner 산업용 CT 검사기: 보이지 않는 내부를 지배하다 제품을 절단하지 않고도 내부의 미세한 기포와 크랙을 완벽한 3D 영상으로 스캔하여, 제조업의 비파괴 검사와 품질 보증을 완전히 새로운 차원으로 끌어올리는 혁신 기술입니다. ▲ [구조 원리] X선 튜브에서 발생한 방사선이 회전하는 제품을 통과하며 디텍터에 도달하고, 이를 컴퓨터가 합성하여 완벽한 3D 볼륨 데이터로 재구성해 냅니다. 1. CT 검사기(Computed Tomography)란? (Deep Dive) 산업용 CT 검사기(Industrial CT Scanner) 는 의료용 CT 기술을 제조업에 맞게 진화시킨 초정밀 비파괴 검사(NDT) 장비입니다. 제품을 360도로 미세하게 회전시키며 수백에서 수천 장의 2D X-ray 사진을 촬영한 후, 이를 고성능 컴퓨터 알고리즘으로 병합하여 제품의 내부 구조를 입체적인 3D 체적(Volume) 데이터로 완벽하게 렌더링해 냅니다. 2026년형 CT 검사기의 핵심 트렌드는 '인라인 초고속 검사' 와 'AI 기반 자동 판독' 입니다. 과거 실험실에서 몇 시간씩 걸리던 스캔 시간을 단 수 초 이내로 단축하여 배터리 라인 등에서 100% 전수 검사를 실현했으며, 생성된 방대한 3D 기공 데이터를 인공지능이 즉시 스캔하고 합불을 스스로 판정하는 딥러닝 스마트 검사 시스템으로 완성되었습니다. ...