웨이퍼 핸들링 로봇 문의하기

웨이퍼 핸들링 로봇 견적 요청

반도체/디스플레이 공정의 핵심인 웨이퍼 이송 로봇(WTR) 솔루션입니다.
dalpack.com이 작업 환경(대기/진공)에 맞는 최적의 로봇을 제안합니다.

1. 고객사 정보 (Contact Info)

회사명 *

담당자명 *

연락처 *

이메일 *

2. 웨이퍼 사양 및 작업 환경 (Wafer & Env)

작업 환경 (Operating Environment) *

대기 환경 (Atmospheric)
EFEM, Sorter 등 일반 공정 진공 환경 (Vacuum)
Etching, Deposition 챔버 이송

웨이퍼 사이즈 (Wafer Size) 12인치 (300mm) - 표준 8인치 (200mm) 6인치 (150mm) 디스플레이 글래스 (Panel)

클린룸 등급 (Clean Class) ISO Class 1 (초청정) ISO Class 2 ISO Class 5 (일반 Cleanroom)

3. 로봇 암 및 핸드 구성 (Arm Configuration)

암(Arm) 구성 (Arm Type)

싱글 암 (Single Arm)
기본형, 단순 이송 듀얼 암 (Dual Arm)
고속 처리 (Swap 가능), Throughput 향상

핸드(End Effector) 타입

진공 흡착 (Vacuum Grip)
웨이퍼 후면 흡착 (일반적) 엣지 그립 (Edge Grip)
웨이퍼 표면 접촉 최소화 (오염 방지) 베르누이 (Bernoulli)
비접촉 공중 부양 이송 (Thin Wafer)

Z축 스트로크 (Z-Axis Stroke)

목표 처리량 (WPH)

4. 부가 옵션 (Options)

프리 얼라이너 (Pre-Aligner) 포함 매핑 센서 (Mapping Sensor) 장착 주행 축 (Linear Track) 추가

기타 문의사항 (카세트 타입 등)

※ 진공 로봇의 경우 챔버 레이아웃 도면이 필요할 수 있습니다.