노광 시스템 문의하기

산업용 노광 시스템(Exposure Machine)

미세 회로 패턴 형성을 위한 정밀 광학 기술과 제어 솔루션을 제공합니다.
소재의 특성과 요구 해상도에 최적화된 고성능 노광 장비를 제안합니다.

1. 고객사 정보 (Contact Info)

회사명 *

담당자명 *

연락처 *

이메일 *

2. 노광 사양 및 기술 정보 (Technical Specs)

노광 방식 및 광원 선택 *

직접 묘사 방식 (LDI)
마스크 없이 레이저로 직접 패턴 형성 마스크 얼라이너
마스크를 이용한 일괄 노광 방식 스테퍼 (Stepper)
반복 투영 노광, 고정밀 회로용

희망 광원 종류 * UV-LED (장수명, 저전력) UV 수은 램프 (고출력) 레이저 다이오드 (미세 가공)

목표 해상도 (Resolution, μm) *

최대 작업 영역 (mm) *

대상 소재

3. 시스템 옵션 및 정렬 기능 (Options)

정밀 제어 및 편의 옵션

자동 정렬 시스템 (CCD)
카메라를 이용한 고정밀 마크 인식 진공 흡착 스테이지
소재 고정 및 평탄도 유지 클린 유닛 (FFU) 장착
노광부 내부 청정도 유지 광원 냉각 시스템
장시간 가동 시 열 방출 제어

기타 문의사항 (택 타임 및 설치 환경 등)

※ 사용하시는 감광액(PR)의 분광 감도 데이터에 맞춘 최적의 광량(Energy) 세팅 상담이 가능합니다.