MFC(Mass Flow Controller) 정밀 유량 제어기 문의하기

MFC(Mass Flow Controller) 견적 및 기술 문의

반도체, 디스플레이, 화학 공정을 위한 고정밀 질량 유량 제어기.
공정 조건에 최적화된 유체 제어 솔루션을 제안합니다.

1. 고객 정보 및 공정 환경 (Process Info)

회사명/연구소명 *

적용 공정 (Application) * 반도체 (Etch/CVD/PVD) 태양광/2차전지 제조 바이오/제약 (발효 공정) 연구소/실험실 (R&D) 일반 산업용 버너/퍼니스

사용 가스 종류 (Gas Type) *

담당자 이메일 *

2. 기술적 사양 (Technical Specs)

유량 범위 (Full Scale Range) *

저유량 (Low Flow)
10 sccm ~ 500 sccm 중유량 (Medium Flow)
1 slm ~ 50 slm 대유량 (High Flow)
100 slm 이상

통신 및 인터페이스 (Interface)

Analog (아날로그)
0-5VDC / 4-20mA RS-485 / Modbus
범용 시리얼 통신 EtherCAT / DeviceNet
산업용 고속 필드버스

피팅 및 씰 재질 (Fitting & Seal)

Swagelok (Viton Seal)
일반 가스 / 표준형 VCR (Metal Seal)
초고순도 / 부식성 가스용

3. 추가 문의 사항 (Remarks)

※ 사양 검토 후 영업 엔지니어가 선정된 모델 데이터시트와 함께 연락드립니다.

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귀사의 공정에 최적화된 유체 제어 솔루션을 찾아드리겠습니다.
담당자가 검토 후 24시간 이내에 메일로 회신드립니다.