산업용 스핀 드라이어(Spin Dryer) 문의하기

산업용 스핀 드라이어(Spin Dryer)

반도체 웨이퍼, 디스플레이 패널 및 정밀 부품 세정 후의 완벽한 수분 및 파티클 제거 솔루션.
워터마크 없는 고청정 건조 공정을 위한 최적의 스핀 설비를 제안합니다.

1. 고객사 정보 (Contact Info)

회사명 *

담당자명 *

연락처 *

이메일 *

2. 처리 방식 및 기판 사양 (Technical Specs)

공정 처리 방식 (Process Type) *

배치식 (Batch Type)
카세트 단위 대량 건조 (고생산성) 매엽식 (Single Wafer)
웨이퍼 1장씩 정밀 세정/건조 (고균일도)

적용 기판 규격 (Substrate Size) * 4인치 ~ 6인치 (화합물/R&D) 8인치 (200mm) 표준 12인치 (300mm) 양산 유리/사각 기판 (Glass Panel)

최대 회전 속도 (Max RPM) 최대 1,500 RPM (일반/대형) 최대 3,000 RPM (표준 정밀) 최대 5,000 RPM 이상 (초정밀 매엽식)

건조 매질 및 가스 (Drying Media)

3. 세정 통합 및 부가 옵션 (Options)

기능 및 제어 옵션

DI Water Rinse 통합
건조 전 초순수 린스 공정 동시 진행 메가소닉 (Megasonic)
미세 파티클 제거를 위한 고주파 세정 이오나이저 (정전기 제거)
고속 회전 시 발생하는 정전기 및 파티클 흡착 방지 SECS/GEM 통신
반도체 공장 상위 호스트(MES) 통신 프로토콜

4. 기타 문의사항 (Remarks)

※ 기판의 취약성과 건조 품질 요구사항을 분석하여 진동 없는 안정적인 로터 시스템을 제안합니다.

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귀사의 무결점 건조 공정을 위한 최적의 설비를 설계 중입니다.
세정/건조 장비 전문 엔지니어가 24시간 이내에 메일로 회신드리겠습니다.